东莞自动化氮气柜生产过程

    氮气柜就是通过调节氮气注入柜体，而达到除湿防氧化作用。氮气柜在半导体工厂、晶元晶振工厂及精密组部件工厂都有着较普遍的应用，其主要用于这些精密部件存放时的防潮防氧化保护。对于工厂，这些精密部件的防潮防氧化保存，对于生产的良率及产品的品质都有重要的作用。如果氮气柜在湿度不达标的情况下，对于柜内存放物品的防潮防氧化效果将下降。氮气柜湿度达不到要求，也就是柜内的氮气浓度达不到要求。对于一个有限的密封柜体，其浓度达不到，也就只有“进气”与“出气”两个原因了。“出气”是指柜子的密封性，氮气充入后所逸出的部分了。当氮气柜的逸出量太大时，柜内的氮气浓度就会比较低，也就会湿度低，而无法进行很好的防潮防氧化保护了。“进气”是指氮气柜所充入的氮气量不足。在氮气柜的使用过程中，由于柜门的经常开启，导致开关门逸出的氮量大于充入柜内的氮气量，也就无法达到预期的氮气浓度了。解决办法分两部分，一是柜体的密封性，二是进气量的加大。新膜分离技术，电解池催化效率高，产气量大，氮气纯度高。东莞自动化氮气柜生产过程

   全自动氮气柜是利用氮气来达到防氧化防潮目的柜体，密闭柜体本身具有送氮和排气的通路。根据应用要求可配置不同的控制功能，被广泛应用在微电子，半导体等行业。随着防潮科技的不断发展创新，防潮除湿设备越来越出层创新，目前市场上比较流行的防潮设备有电子防潮箱和全自动氮气柜，其中两者的区别：全自动氮气柜主要体现在具有可充氮的功能，其主要作用是用来防潮防氧化的，防潮速度快，对于比较贵重的芯片需要防氧化的物件可以选择氮气柜。电子防潮箱只能防潮不能防氧化，防潮速度与氮气柜比较慢。一个可充氮气是两者的区别，其次区别就是对于湿度控制，电子防潮柜中的中湿度和低湿度都可对湿度进行控制，而氮气柜对于湿度的控制是全自动的，其控湿范围是在1%-60%。两者都具有存储的作用，各有优点和缺点。主要还是根据自己所需的用途挑选。北海国产氮气柜WMS管理氮气柜，是指一种充入氮气，用来保护一些活性较强易氧化的物料的柜体。

    24小时内).10、快速稳定的除湿能力，良好的密封性能，可使箱内湿度不受环境影响。11、两年免费维修及防潮咨询。12、可根据客户要求定做不锈钢柜体及氮气柜。氮气节约装置，当箱内湿度到达设定值时，系统会自动切断氮气供应，当超过设定值时，系统会智能打开氮气供应。相比市场其他直充氮气机型可节约70%氮气消耗量。大程度降低使用成本。采用多点喷气结构.氮气通过30多个小孔向箱内喷气，使箱内氮气分布均匀。避免了单点供气而产生的抗氧化不均现象。智能化控制系统釆用与电子防潮箱相同智能化控制系统。可设定并自动采集箱内湿度来决定氮气供气阀的通断.从而节省氮气，延长产品使用寿命。产品的扩展防氧化氮气柜可扩展成氮气防潮组合柜.在不通氮气的情况下.可当作电子防潮箱使用.从而节约了投资及使用成本。

    氮气发生器的主要特点：1、程序控制氮气发生器的控制系统采用芯片。是全部工作过程均有程序控制完成。自动恒压，恒流，氮气流量可根据用量实现0-300ml/min全自动调节。2、工艺先进电解池采用立式单液面双阴极。新膜分离技术，催化层使用PCAN载体及贵金属催化物，使电解池催化效率高，产气量大，氮气纯度高，电解池出厂前经过100小时以上高压，大电流老化试验，使电解池性能和工作状态极为稳定。3、三级催化除电解池中两级催化外另有第三极催化，催化剂选用新型贵金属，使输出的氮气含氧量小于3ppm。4、产氮湿度低。氮气发生器采用了超高分子量渗透麽分离技术及有效的除湿装置，因而降低了原始湿度，并能在停机后自动排出水分。氮气发生器采用了金属聚合物除湿及两级吸附，使氮气纯度大提高。5、操作方便免运输钢瓶之劳，省搬运钢瓶之苦，使用是只需打开电源开关即可产氮，可连续使用，也可间断使用，产氮量稳定不衰减。6、氮气发生器安全可靠配有安装装置，灵敏可靠。储区应备有泄漏应急处理设备。

    用变压吸附法分离空气可以得到富氧空气和，耗电量均小于。用变压吸附法分离空气具有能耗低、流程短、开停车时间短、自动控制、产品浓度可调等等优点，可望有较大的发展。膜法分离空气利用的是渗透原理，即氧气和氮气在非多孔高分子膜内的扩散速率不同。当氧气和氮气吸附在高分子膜表面时，由于膜两侧存在着浓度梯度，使气体扩散并通过高分子膜，接着在膜的另一侧解吸。因为氧气分子的体积小于氮气分子，因而氧气在高分子膜内的扩散速率大于氮气，这样，当空气通入膜的一侧时，在另一侧就可以得到富氧空气，同一侧得到氮气。用膜法分离空气可以连续得到氮气和富氧空气。目前的高分子膜对氧、氮分离的选择性系数只有，渗透系数也较小。分离得到的产品氮气浓度为95～99%，氧气浓度为30～40%。膜法分离空气一般是在常温和压力为～×106pa的条件下操作的。氮气直接充入柜体内 ，无控制系统的直冲型氮气柜；柳州定制氮气柜联系方式

制氮机是按变压吸附技术设计、制造的氮气制取设备。东莞自动化氮气柜生产过程

    全功能洁净氮气柜：产品应用：适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。宏誉洁净柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.相关技术指标：1）洁净等级专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净柜内CLASS10~100（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@&≦20ea@）。2）TDH实验即存放在洁净柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea(包括))3）降湿速度除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至5%所需时间小于30min4)进口无尘风机：采用进口无尘室FFU风机，面风速：～；5）静电残余值测定松鑫全功能洁净氮气柜洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv6）柜内风速均匀性洁净柜内不能有氮气的死角。东莞自动化氮气柜生产过程

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